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至纯 | 纯度成就品质
    发布时间:2019-11-06    来源:IC WORLD

    至纯科技,致力于为泛半导体产业客户提供高纯工艺系统和湿法工艺装备。公司的经营战略确立为“关注核心工艺,服务关键制程”,“立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商”,并代表本土品牌参与国际竞争。

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    至纯科技总部和研发中心位于上海市闵行紫竹国家级高新区,生产制造中心在启东,合肥正建设专项服务中心及应用技术开发中心。至纯科技拥有上海市市级企业技术中心,下设高纯工艺技术和半导体核心工艺装备方向,同时配套建设了研发中试车间和1个检测实验室和1个计量实验室,用于新技术的样机开发试制、工艺性能测试等,公司同时设有院士专家工作站。至纯科技积极跟动客户的工艺需求和创新,建立了自主研发的科研创新体系,集团目前已申请专利470项(其中发明专利近150项),软件著作权近百项。

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    至纯科技的超高纯气体输送系列解决方案,关注从气源到使用点,再到尾气处理的每一个环节,设计、制造、现场安装调试到运行管理和维护保养等。解决方案实现安全稳定、无污染、满足工艺制程要求的供应,是产线良率保障的关键系统之一。同时,满足工艺也兼顾环保达标排放。

     

     

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    至纯单片清洗设备在产品应用FEOL/BEOL 的工艺上都可以提供设备(B-clean、RCA clean、Scrubber、DSP、Backside clean 、PR strip以及 metal reclaim);还可以提供高温SPM的回收功能,可以大幅的降低PR strip的running cost.

    至纯,本着“规划一片森林,让树木自由生长”的人才发展理念,持续建设“共建设、同分享”的机制。我们的目标是为客户、员工和社会创造持续的价值。

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