2019北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会的第二天，集成电路材料界翘首以盼的专题论坛挑战芯机遇，集成电路智能工厂建设与环保论坛在人们的期待中隆重登场，集成电路智能工厂建设与环保问题是半导体产业发展最关注的基础问题，本次论坛由SMNC总监李新国负责支持，论坛专门邀请了北京市绿色制造产业联盟理事长徐斌，中国电子系统工程第二建设有限公司研究所副所长华来珍，中芯国际集成电路制造（北京）有限公司资深总监姜镭等领导与会指导，同时也还邀请了多位业界资深专家和学者作专门的工厂建设和最新环保技术精彩报告分享。

首先论坛由北京市绿色制造产业联盟理事长徐斌发表重要讲话，讲话指出绿色制造产业联盟帮助推进制造企业实现工厂生产智能化，企业生产环保绿色信息化，推崇绿色制造和智能制造新的融合发展。同时理事长也希望中芯北方SMNC作为在全国工信部评选的绿色工厂，承担了国家工信部的绿色制造系统的集成项，能够为其他绿色工厂的改造和提升树立标杆，更多地分享经验。最后他也预祝大会论坛能够圆满成功。接着论坛由中芯国际集成电路制造（北京）有限公司资深总监姜镭致辞，更多地分享了工厂建设绿色环保的理念，同时感谢集成电路制造工厂厂务建设者的努力，并且自然地把大会论坛作为展示舞台交给“幕后英雄”们---厂务建设者管理者和工厂绿色环保方面的设计专家。

论坛的第一个绿色节能技术报告分享是由中芯北方集成电路制造（北京）有限公司资深经理刘浩带来的题为《无尘室的建造及节能运行管理》的经验报告。报告首先介绍了集成电路工厂洁净室建设管理的复杂性和技术难点，比如空间设计原则，天车系统规划，节能能耗管理，大气环境影响，空气过滤器的选材用量等等。资深经理刘浩基于产能空间设计规划的多年经验分享指出产能规划通则是黄光区优先原则，其中黄光区的光刻设备布局尤为重要。只要黄光区合理规划，产能就能有很大的提升。接着刘经理谈及天车搬运系统（AMHS）时强调天车系统是一种必然趋势，是成本节约的重要手段，而且随着人工智能大数据的开发应用，天车系统效率也不断提高。当然天车系统的引入也对洁净室空间设计也提出新的标准和要求。中芯一直推崇绿色节能制造，在能耗管理，废水利用上也许多创新，诸如工厂旁侧热电厂热水再利用，太阳能电池板公共节能，集成废水回收，再生水工厂的自来水替代等等。同样在洁净室环境管理受大气雾霾影响方面，专门在新风口设计了一套外气水洗系统，有效去除可溶性AMC，延长了灰尘过滤器使用寿命，提升了很大的节能空间。也正是多处的创新管理和应用，2014获得了美国LEED认证（国内评价绿色建筑标志的证书）。最后刘经理强调绿色生产是中芯给予环境保护承诺的社会责任，将会继续坚持做绿色制造，绿色中芯。

一个好的智能工厂建造离不开好的设计建造，那么又如何评价一个工厂的智能环保呢？中国电子工程设计院有限公司总建筑师、教授级高级工程师晁阳为大家带来了专业精彩报告《绿色智能芯片工厂的建设与评价》。报告首先是基于集成电路工艺提出的相关技术要求，温湿度控制，洁净度要求包括对离子的控制，还有工厂钢构精密仪器设备的微震要求等等。报告第一部分详细指出洁净度要求严格把控人员流动，机械工具还有原料的污染影响；微震则要求注意包括高速，地铁，机场等交通设施带来的外部振动和噪声；而洁净室内部环境检测更是细致到建筑材料，密封涂料，工艺应用化学品，酸碱有机物残留，静电吸附，废气及固体废弃物等等的细节。第二部分报告就保证工艺要求的前提下，如何实现高性能空间设计建造展开布局：第一点要处理好不同洁净等级的布置，保证各工艺区的要求；第二点就是合理配置安全可靠的运行设施，保障生命财产和生产安全；第三点要求考虑运行设施的低造价和易维护特征；第四点则是长远考虑其兼容性和扩展性，对于高科技工厂不仅要自动化更要智能化，可调整可灵活变更，适应各种工艺生产要求。最后谈到第三部分绿色工厂的评价，晁总介绍了三星绿色工业建筑评审的主要流程，自豪指出绿色工业建筑在我们国家发展还是很快的。结合集成电路工厂，绿色节能主要表现在屋面反光及节能材料的应用，节水控制，水循环利用，固体废弃物分类回收，二氧化碳检测等等。

进入第三个论坛报告，技术交流专业更加细分深入。中国电子系统工程第二建设有限公司研究所华来珍副所长及所长助理董连东分两部分交流探讨关于《集成电路厂房高精度温度控制技术》。技术分享开始，华来珍副所长从具体的应用实践出发，分两部分来分享洁净厂房温湿度控制系统。第一部分从集成电路厂房的结构环境的特征出发，形象比作人体的骨架结构，血液循环系统，中枢神经系统来剖析厂房工业机械布局，物料供应系统，整体送风系统。洁净室及高端工艺对温湿度的苛刻要求，针对关键指标，通过气流仿真模拟，自控调试手段，进行不断改进和调整。第二部分集体结合实际案例，详细分析论述洁净室温湿度高精度和高稳定度的整体控制目标实现，包括温湿度传感技术应用和控制系统的补偿反馈调整。接着所长助理董连东从理论角度出发，通过CMD技术手段，设计模拟气流温度湿度的流动分布，细化风速控制和扩散过程模拟，不断精细调整，最终到达目标的控制范围。进一步的技术拓展，关于其他照度，噪声的技术指标的控制也可运用计算机模拟设计来实现，并具体运用到洁净室整体设计建造上。

中国电子系统工程第四建设有限公司总工程师陈迎春分享主题《新结构与材料在电子行业的解决方案及智能制造的应用》，从集成电路的历史演化，成长历史，新材料与结构以及新材料的智能制造这四个方面做了具体分享。首先从历史演化来看，二十世纪70年代半导体行业在美国发展起来，第一次由美国转移到日本，并持续20年的繁荣，第二次转移从日本到韩国和台湾地区，造就三星台积电等大型半导体厂商。当下属于第三次转移，中国凭借智能手机，5G技术促进半导体行业快速发展。然后陈总工从协多利洁净系统公司发展数据出发，分析总结规律，突出新结构和材料应用在半导体电子行业的重要性和推进智能制造数据共享融合中的基础性功能。最后陈总工感谢大会论坛提供的交流平台，希望今后能有更多的分享和技术交流。  

随着技术交流专业细化，大连华邦化学有限公司环保事业部经理高嵩分享了《HPC-9N气纯纯化器研发进展及在 12＂芯片产线的应用》。华邦纯化设备采用超大容量，高温断电保护，所有气体杂质控制达标，优秀的技术方案保障设备的高可靠性能。华邦化学还拥有以化物所专家与海归博士为带头人的科研团队，组建“ppb级高纯气体纯化器研发团队”。投资打造高纯气体分析实验室，成功研制了 HPC-9N系列纯化器，并且产品已成功应用于国内多条12英寸产线（大连、无锡、广东、武汉、青岛等），以及数十条 6～ 8英寸、TFT、LED、IGBT等产线，并可为客户提供超纯气体现场供应及管理、维修服务。 半导体行业除了气体纯化技术需求还有对超纯水的苛刻要求，尤其硼离子在超纯水中的去除技术。高频美特利环境科技（北京）有限公司副总经理张建清从专业技术角度出发，研究发现多种提高纯水中对硼的剔除力的技术实现，诸如离子交换树脂，反渗透技术，两级混床串联设计等等，各种技术组合应用，从而达到对硼的水质的要求。张建清副总长期致力环保领域水处理技术研究，打造国产化高端品牌。

绿色制造工业生产避不开废水废液的处理，有关电子行业的废水废液的深度处理与资源化方面的技术，中国电子系统工程第二建设有限公司废水处理与资源化研究室主任罗嘉豪博士针对半导体领域的几大分类详细展开。酸碱废水淡化中和，简单调整达标排放；含氟废水则添加氯化钙，适当处理，降低含氟浓度，选择树脂处理再排放；CMP的研磨液主要尝试过滤吸附纳米颗粒后水处理再利用；另外还有废液废水处理合成其他农用化肥或副产品开发应用，实现废弃物资源化。

大家越来越关注大气环境变化，所以在半导体领域中各种制程气体的使用和减排放也尤为重要。上海盛剑环境系统科技股份有限公司技术经理柳晓清带给大家《泛半导体行业制程排气减排技术研讨》论坛分享。随着国家对大气环境控制和限制越来越严苛，尤其是最近发表的那个电子工业大气污染物的排放标准，对氟化物及磷化氢的排放严格要求小于10毫克，这就要求不断提升治理设备。对于氮氧化物的排放在设备端和环境端都要严格要求，一般气体排放处理方式是转轮吸附处理和燃烧处理。最后柳晓清还简单介绍盛剑环境是一家为中国泛半导体产业提供工艺废气治理系统解决方案的国内领军企业，凭借在国内泛半导体行业积累的设计能力将先进治理技术和综合解决方案应用拓展至垃圾焚烧、VOC减排等行业。

论坛最后由上海华懋科技环保节能设备有限公司技术总监扶亚民带来题为《挥发性有机气体超低浓度排放技术》的技术分享。扶亚民技术总监指出挥发性有机气体，四大排气里面很重要一项，华懋科技率先投入半导体产业挥发性有机气体的处理技术研究和专业多级转轮设计，近年来积极发展核心技术获得多项专利。并能依照客户需求，进行周密之工程设计、建造及制造，为工业生产环境减废与地球生态保护尽一份心力，至今拥有近百套国内外实绩，占台湾废气处理设备市场半数以上。

最后大会论坛专家们意犹未尽，合影留念，相互交换名片，互留微信，希望后续能够继续深入交流学习，分享技术，能够在智能工厂建设和环保论坛的技术平台上携手共进，推动产业发展。也为更加美好的集成电路产业明天做出贡献

借此大会的主题“打造芯生态，共促新跨越”，北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会期待您的加入，意犹未尽的现场小伙伴们，相约明年IC WORLD 大会再续热议。