一天一人物，一天一展位

人物：王光玉

展位：A-T19  

“打造芯生态、共促新跨越”，11月28日-30日，北京亦创国际会展中心。2019北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会如约而来。本届大会展馆面积约10000㎡，展位面积超过4000㎡，近170家单位参展。旨在打造集成电路产业链生态圈，携手上下游企业共促新发展。大会届时将举办高峰论坛和近10场学术会议以及覆盖集成电路全产业链的170余家企业参展的博览会。

专栏每日剧透

一位将参加2019北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会的重磅人物。

一家在2019 IC WORLD博览会上参展的国内知名企业

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今日人物

王光玉

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司副总经理

王光玉，研究员，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司副总经理，兼任真空干泵事业部部长。主要从事真空获得设备、真空应用设备及高档真空部件的研制开发工作。

近年来，承担国家科技重大专项、国家科学仪器重大专项、863课题、辽宁省重大专项等课题20余项，获得国家专利30余项，发表论文30余篇，主持起草3项行业标准，研究成果涵盖真空设备技术与工艺、真空热处理及金属材料表面处理等多个领域，主持完成了真空涡旋干泵、爪式干泵和阀门等15项新产品的研发和产业化工作，填补多项国内空白。担任中国真空学会真空工程委员会委员、真空冶金委员会委员，真空技术装备国家工程实验室理事，全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC 18）委员，多次受邀出席学术会议并做大会报告。

展位效果图

公司简介

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，1958年，坐落在沈阳国家高新技术产业开发区，现有员工518人，其中专业技术人员282人，拥有先进的加工设备和检测手段。经过半个世纪的发展成为集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的现代企业。

主要产品

1、真空应用产品

(1)工业化产品:电子東蒸发、磁控溅射、硬碳膜、大功率电子束设各等

(2)晶体炉产品:硅单晶炉、锗单晶炉、碳化硅单晶炉、蓝宝石晶体炉产品

(3)科研类产品:各种PVD、CVD、真空治金设备

2、真空获得产品

系列罗茨干泵(机组)、渴旋干泵、超高真空闸板阀及真空部件等

3、光伏产品

大型平板 PECVD氮化硅覆膜系统

公司先后建立了分子束外延基地和多功能电子能谱仪生产基地:4

1998年成立辽宁省精密仪器工程技术研究中心;

2000年国家科技部批准组建了国家真空仪器装置工程技术研究中心;

2000年通过IS09001质量体系认证:

2008年国家发改委批复成立真空技术装备国家工程实验室。

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