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北京京仪自动化装备技术有限公司
    发布时间:2019-11-23    来源:北京微电子国际研讨会

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    欢迎莅临IC World大会博览会

    京仪装备 展位号:A-T14

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    北京京仪自动化装备技术有限公司,是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业,主要产品包括半导体专用温控装置系列(Chiller)、机器人系列(Wafer Sorter/AMR)、废气处理装置系列(Local Scrubber)等专用设备,现已广泛应用于半导体、LED、LCD等领域。

    公司一直秉承“为员工提供机会,为客户带来利益,为股东创造价值,为社会承担责任”的企业价值观,以振兴民族产业为己任,聚焦于高端装备制造业,为客户提供专业的技术解决方案,同时不断加强企业管理创新与科技创新,保持竞争优势,使公司成为多方共赢、共享卓越成果的平台。与时俱进,着眼未来,致力于以全球化、国际化的管理思想提高国产品牌的核心竞争力

    企业愿景:

    企业愿景——成为国内集成电路制造行业最具价值的设备和服务供应商。

    业态定位——高端装备制造+生产性服务业

    市场定位——集成电路装备+泛半导体领域   

    公司产品:

    1、机器人系列产品

     ROBOT PRODUCTS

    晶圆倒片机(Wafer Sorter)是用于半导体制造行业的过程设备,通过设备内部的微环境保证倒片过程的洁净要求,实现Wafer的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。根据不同的流程需求,可以将FOUP/FOSB ID读写和开关盒、传片、读取Wafer ID、对齐Notch 口、翻片等功能组合。通过FA和天车/AGV实现自动化、无人化,通过嵌入在Stocker内还可以实现晶圆的分类存储。

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    2、半导体专用温控装置系列产品

    CHILLER PRODUCTS

    半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备; 研发人员在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术,显著地提高了chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

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    3、废气处理装置系列产品

    LOCAL SCRUBBER PRODUCTS

    废气处理装置(Local Scrubber)是为半导体、液晶面板等行业中所产生的有毒害化学品提供一个可控制的气体处理环境。针对不同化学品的化学性质和物理性质选用不同形式的处理方式进行化学反应或物理吸附等,以达到绿色环保等级的处理效率和排放标准。我司对废气处理装置具备独立的研发技术能力,能够为每一位客户提供优质的产品和技术服务。

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